半导体用碳化硅部件
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特别适用于半导体制造工艺部件
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碳化硅具有优异的热导率、出色的机械性能、良好的化学稳定性，特别适用于半导体制造工艺部件，例如光刻机用碳化硅凸点吸盘和环状吸盘、键合用压板和吸盘以及半导体封装设备部件等。
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山东金德新材料有限公司
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