碳化硅晶体是良好半导体材料
碳化硅晶体是具有高稳定性的良好半导体材料,目前我国使用的碳化硅晶体材料主要依赖于进口。山东大学从本世纪初开始对碳化硅晶体材料展开科研攻关,先后承担了国家863和973计划相关重大科研项目,碳化硅单晶研究技术在国内处于领先地位。研究人员经过近10年的研究和2000多次晶体生长实验,打破国外封锁,成功研发出可靠的碳化硅晶体材料制备技术。碳化硅单晶衬底和蓝宝石衬底是新一代半导体材料广泛应用于民用航空、半导体照明、光电子、电力输送、宽带通讯等技术领域,这一产业化项目的实施将大大缩短我国与世界先进国家的差距。同时,碳化硅单晶衬底还是重大节能环保材料。
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